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GS 二氧化硅基底单层氮化硼薄膜,7440-44-0,GS Monolayer Boron Nitride Film on SiO₂ Substrate
发布时间:2026-01-13     作者:YFF   分享到:

物质名称:GS二氧化硅基底单层氮化硼薄膜,GS Monolayer Boron Nitride Film on SiO₂ Substrate

物质组成与结构

GS二氧化硅基底单层氮化硼薄膜以二氧化硅(SiO₂)为基底,表面覆盖单层六方氮化硼(h-BN)。六方氮化硼由硼(B)和氮(N)原子交替排列形成蜂窝状结构,与石墨烯结构相似但为绝缘体。该薄膜通过化学气相沉积(CVD)等工艺在铜箔等过渡基底上生长后转移至SiO₂表面,形成均匀单层结构。

核心特性

单层h-BN具有优异的热导率(约300 W/m·K)和化学稳定性,可在高温、强酸强碱环境中保持结构完整。其绝缘性(带隙约5.9 eV)与SiO₂基底形成互补,可有效隔离电子器件中的导电层。此外,单层结构使其表面原子活性高,易于与其他材料通过范德华力或化学键结合。

应用领域

在半导体领域,该薄膜可作为二维电子器件的衬底或封装层,提升器件散热性能并降低漏电流。在光电子领域,其高透光率(可见光波段透光率>95%)和低介电常数(约4.0)使其适用于透明导电薄膜和光波导器件。在传感器领域,单层h-BN对气体分子吸附敏感,可用于检测NO₂、NH₃等有害气体。

制备工艺

制备过程包括过渡基底预处理、h-BN单层生长和转移三个步骤。以铜箔为例,首先通过电化学抛光去除表面氧化层,随后在高温下通入硼烷和氨气进行CVD生长,形成单层h-BN。最后通过聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)辅助湿法转移,将薄膜剥离并覆盖于SiO₂基底表面,经热处理去除残留溶剂后完成制备。

GS 二氧化硅基底单层氮化硼薄膜

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