光电材料|β-FeSi2在脉冲激光沉积Si(100)衬底上的退火效应及红外光电响应
发布时间:2021-12-27     作者:光电材料   分享到:
光电材料β-FeSi2是光电子领域中一种重要的半导体硅化物。
本文采用脉冲激光沉积Fe薄膜的方法,在Si(100)衬底上制备了β-FeSi2合金层,然后在800℃的真空中进行热退火。
退火温度的调整对样品的形貌、结构和光学性能有明显的影响。800°c退火后样品表面光滑,光电材料β-FeSi2相结构良好。
采用所制备的光电材料β-FeSi2合金层作为光电转换层,在1319 nm波长下,红外探测器的响应率为1.8 mA/W,探测率为1.44 × 107 cm⋅Hz1/2 W−1。
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