为了改善掺氟氧化锡(FTO)薄膜的光电性能，提出了一种简单的透明罩辅助激光退火策略，即用覆盖玻璃或PET片作为透明罩。采用纯激光退火进行比较。

研究发现，透明罩辅助激光退火能**地产生密度较大的颗粒，降低表面粗糙度，增加晶粒尺寸，从而提高薄膜的透光率和导电性。

更重要的是，与覆盖玻璃辅助激光退火相比，pet辅助激光退火可以使薄膜表面覆盖更均匀、更致密的颗粒，晶粒尺寸**增大。

因此薄膜的总透过率最高为84.32%，镜面透过率最高为75.88%，雾度略有下降为10.01%，片状电阻**为7.36 Ω/sq。

简单的pet辅助激光退火方法有望替代传统的激光退火处理方法。

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