采用低成本的化学还原方法制备了磁控溅射沉积在铝掺杂氧化锌（Al:ZnO, AZO）光电材料薄膜中的还原金纳米粒子（Au-NPs）。

在不同的工艺参数下混合Au- nps，可以**地去除Au- nps上的有机物，形成Au的三维准晶体结构，从而改善光电材料AZO薄膜的光电性能。

采用不同溅射功率制备**的AZO种子层，通过调节烧结温度和旋转镀膜转速，提高Au-NPs对AZO薄膜光电性能的影响。

利用透射电子显微镜、扫描电子显微镜和x射线衍射仪分析了Au-NPs的结构和分布，

以及光电材料AZO薄膜的晶体特性。利用紫外-可见-近红外分光光度计和霍尔效应测量系统对薄膜的光电性能进行了测量。

根据实验结果，在150 W的溅射功率下沉积AZO种子层，在500℃下进行热退火处理，在3000 rpm的转速下将Au-NPs自旋涂覆在AZO薄膜的织构表面，

得到Au-NPs分布**的准网状结构。这种结构使薄膜的电阻减小到3.57 × 10−3 Ω-cm，在可见光谱范围内的**透光率为84.15％，其优值为3.99 × 10−4 Ω−1。

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